潮科技 | Sorex推出首款FBAR颗粒物传感器，想把手机变成“移动空气监测站”
编者按：本文来自微信公众号“MEMS”（ID：MEMSensor），原文题目《剑桥大学创业公司Sorex推出首款FBAR颗粒物传感器》，作者麦姆斯咨询殷飞，36氪经授权发布。
据麦姆斯咨询报道，从剑桥大学孵化出来的创业企业Sorex Sensors基于其突破性传感技术推出了首款颗粒物传感器。
这款颗粒物传感器附带开发套件，专为空气净化系统等设备而设计，甚至可以嵌入智能手机，使每台智能手机都成为“移动监测站”。此外，它还可以用于原子层沉积设备，以监测沉积速率和量。
多种疾病被证实与糟糕的室内空气质量有关，尤其是肺部疾病，如哮喘和慢性阻塞性肺病（COPD）等。室内空气质量受到多种因素的影响，例如，用于清洁或装饰的化学物质，建筑物供暖和烹饪，建筑和装修材料，以及吸烟等，这些都会产生影响空气质量的一氧化碳（CO）和甲醛等挥发性有机物（VOC）。
Sorex开发的传感器基于薄膜体声波谐振器（FBAR）技术。FBAR技术包含由压电材料制成的谐振薄膜。当有颗粒物（质量）附着在谐振器表面时，会改变谐振频率，由此提供了传感区域上颗粒物质量的精确测量。Sorex的FBAR传感器可全部在硅晶圆上完成制造。
Sorex推出的这款FBAR颗粒物传感器非常小，像人的头发丝直径一样薄，具有极高的质量灵敏度（飞克级，大约为病毒颗粒的质量）。这使它比现有的传感器更准确、响应更快，因此甚至可以检测到痕量的有害化合物。其分立的非特定传感器能够检测亚PM 2.5范围内的微小颗粒。
“人们越来越意识到颗粒物和VOC的危害，及其与某些癌症等一系列疾病的关联。它们几乎无处不在，例如室内家具、洗护用品和清洁材料等，以及火炉和燃气灶，但我们看不到也闻不到它们。”Sorex Sensors首席技术官Mario de Miguel Ramos博士说，“Sorex的这款颗粒物传感器可以帮助控制粉尘，是我们开发用于室内空气质量监测系列传感器的第一步。我们的目标是使我们的传感器能够像您的眼睛、耳朵和鼻子一样，在所有危害组分达到有害水平之前及时地监测到它们。”
2018~2023年气体传感器市场规模预测
资料来源：《气体和颗粒物传感器-2018版》
根据Yole此前发布的《气体和颗粒物传感器-2018版》报告，2018年气体传感器市场规模为8亿美元，2023年将超过10亿美元；2017年颗粒物传感器市场规模为1.5亿美元，预计2023年将超过2亿美元。Sorex推出的新款传感器面向各种粉尘控制系统的制造商。在产品开发过程中，传感器附带的开发套件可以非常简便地插入笔记本电脑，以显示传感器捕获的颗粒物数据。
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